多晶硅还原炉钟罩及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统如何工作的

日期:2022-10-19 / 浏览: 0

  随着国家能源结构清洁化、低碳化转型的力度加大,我国推出多项政策,大力支持太阳能光伏产业建设。高纯多晶硅作为电子工业和太阳能光伏产业的基础原料,在未来的 50 年里,硅材料成电子和光伏产业不可替代的主要原材料,受光伏行业发展迅速的影响,全球对多晶硅的需求增长迅猛,市场供不应求,全球多晶硅由供过于求转向供不应求。
  多晶硅还原钟罩又称多晶硅还原炉筒,多晶硅还原钟罩上沉积的硅薄膜层的清洗周期是以生产批次计算,钟罩清洗不干净、光洁度不够,常常导致硅芯击不穿或产品质量污染,因此钟罩的清洗,对多晶硅的生产质量非常重要。
  科立盈KLY多晶硅还原钟罩自动清洗烘干系统用于多晶硅还原炉炉筒的清洗,炉筒内部高压清洗及烘干等一系列工序;系统工作模式为全自动操作(除了钟罩放置、移走),整个清洗烘干过程实现“一人一键”完成操作,操作人员辅助及监控整个工作过程即可。
多晶硅还原炉炉筒三维高压清洗
  科立盈KLY多晶硅还原炉钟罩及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统设备组成:
  1、高压热水清洗动力装置1套。高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力,对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗。
  2、高压热水清洗机及附件(1套)。内含高压泵及阀组,进水加热器;清洗剂箱。
  3、科立盈KLY高压三维洗罐器(1套),三维洗罐器升降装置(气动,1套)组成。使用水力自驱动式,对钟罩表面形成360度球形网状喷射。
  4、热风净化烘干机组1套。进风净化等级:10万级。烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气。
  5、清洗烘干工作台及管道1套。
  6、电气控制系统1套。采用PLC+触摸屏全自动控制,全套控制软件。通过PLC及触摸屏控制,可实现钟罩的全自动清洗烘干,与人工清洗烘干比大量节约人力资源。

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