多晶硅还原炉炉筒清洗系统
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全自动清洗系统:
本系统用于多晶硅还原炉炉筒的清洗,炉筒内部高压清洗及烘干等一系列工序;系统工作模式为全自动操作(除了钟罩放置、移走),整个清洗烘干过程实现“一人一键”完成操作,操作人员辅助及监控整个工作过程即可
系统主要分为清洗、烘干2个单元进行设计;其中清洗单元的执行机构与清洗烘干工作台布置在三楼,此防爆等级均为EXDIICT4;同时也考虑了相应的通风及废气处理收集功能;系统合理布置工艺单元,同时符合国家和当地有关环保、安全及消防规定,主要设备采用行业内先进设备,运行稳定、安全性好、人工强度适宜、操作性强,电气控制元件和仪表均采用优质品牌部件。
多晶硅清洗/钟罩清洗系统特点:
1、技术能力强,设计合理,根据客户需求,总结借鉴国内外还原炉钟罩及其它罐类清洗烘干经验,充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势,设计出本套系统,实现了还原炉钟罩的全自动清洗和烘干操作。可根据使用方不同还原炉钟罩、车间厂房的情况,能源条件不同,提供个性化设计。
2、设备性能可靠,核心部件、元件和附件原装进口。
3、自动化程度高:PLC+触摸屏柔性自动控制系统,实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干同时具有半自动或手动功能。
4、适应范围广:可以在一套系统实现多种型号还原炉钟罩的清洗烘干。
5、节能、环保、安全:提供了预热(余热蒸汽、余热水或油)加热清洗水及干燥空气的方案。全密闭式清洗烘干系统,基本消除了对现场及操作人员的污染。
三、清洗工艺路线
还原炉钟罩到位→预清洗→清洗剂(碱液)清洗→漂洗→高纯水冲洗→净化热空气干燥→常温干燥→钟罩吊走。
注:清洗剂的选择对清洗效果和作业安全有直接影响,这方面我公司积累了丰富的实践经验解决闪爆等问题。
四、设备组成
1、高压热水清洗动力装置1套
由高压热水清洗机及附件(1套),高压三维洗罐器(1套),三维洗罐器升降装置(气动,1套)组成。
2、热风净化烘干机组1套
进风净化等级:10万级。
3、清洗烘干工作台及管道1套
4、电气控制系统1套
采用PLC+触摸屏全自动控制,全套控制软件。
注:水和风的加热方式:电加热,蒸汽、余热水或油的热交换器换热。
五、安装使用条件:
客户提供水、电、气,连接到目标设备处,能耗要求,
电 源:AC380V ,50HZ,3L+N;
常温 水: Q≥40-100L/min,DN40接口;